테트라메틸암모늄 수산화물(TMAH 또는 TMAOH)는 분자식 [(CH3)4N]+[오]-, 유기 4차 암모늄 화합물 종류 중 가장 단순한 구성원입니다.산업적 용도 중 하나는 실리콘의 이방성 에칭입니다.또한 포토리소그래피 공정에서 산성 포토레지스트를 개발할 때 기본 용매로도 사용됩니다.상전이촉매이므로 포토레지스트 박리에 매우 효과적입니다.또한 응집을 방지하기 위해 자성유체 합성 시 계면활성제로도 사용됩니다.
화학명 | 테트라메틸암모늄하이드록사이드 용액 | |
다른 이름 | TMAH | |
CAS # | 75-59-2 | |
청정 | 최소 25% | |
분자식 | (CH3)4NOH | |
분자 무게 | 91.15 | |
화학적 특성 | 무색~담황색 액체. 이산화탄소를 흡수하기 쉽고 강알칼리성, 강한 부식성. | |
애플리케이션 | 1. 유기 합성 화학의 상전이 촉매. 2. 전자 산업용 이방성 부식 용액, 실리콘 고무 및 기타 실리콘 제품의 중합 촉매 | |
포장 | 1KG, 25KG, 200kg, 1000KG IBC, ISO 탱크 |
명세서 | 안건 | 단위 | 최소 | 최대 |
시험 | % | 24.90 | 10월 25일 | |
색상 | 헤이젠 | 5 | ||
CO32-(탄산염) | ppm | 100 | ||
Cl-( 염화물 ) | ppm | 0.1 | ||
CH3OH(메탄올) | ppm | 40 | ||
리튬(리튬) | ppb | 5 | ||
Na(나트륨) | ppb | 10 | ||
Mg(마그네슘) | ppb | 5 | ||
Al(알루미늄) | ppb | 10 | ||
K(칼륨) | ppb | 10 | ||
Ca (칼슘) | ppb | 10 | ||
Cr(크롬) | ppb | 5 | ||
Mn(망간) | ppb | 5 | ||
Fe(철) | ppb | 5 | ||
Ni(니켈) | ppb | 5 | ||
Co(코발트) | ppb | 5 | ||
Cu(구리) | ppb | 5 | ||
Zn(아연) | ppb | 5 | ||
Mo(몰리브덴) | ppb | 5 | ||
CD(카드뮴) | ppb | 5 | ||
납(납) | ppb | 5 | ||
Ag(실버) | ppb | 5 | ||
입자 >=0.5um | 개/ml | 100 |
물리적 특성* | 형태 | 액체 |
끓는점,°C | 100.0 | |
어는점, °C | <-25.0 | |
점도@ 25°C, cst | 2.8 | |
비중 @ 60°F | 1.022 | |
인화점(Pensky Martens), °F | >200 | |
pH | >13 |
배송 정보 | 컨테이너 |
200L 클린 드럼 | |
요청 시 다른 용기도 이용 가능합니다. | |
배송 분류 | |
적정 선적명 : 테트라메틸암모늄하이드록사이드 | |
위험 분류: 8 | |
식별번호: UN1835, PGII |
안전 및 취급 | 구체적인 안전 및 취급 정보는 다음을 참조하십시오. |
요청 시 제공되는 물질안전보건자료. |
비고* | 테트라메틸암모늄하이드록사이드(2.380%,20.0%,전자 등급), TMAH(25%, 98%,산업 등급)도 제공됩니다. 자세한 내용은 당사에 문의하십시오. |
1) 분석측면에서는 폴라로그래픽 시약으로 테트라메틸암모늄하이드록사이드를 사용할 수 있다.
2) 제품 정화 측면에서 일부 금속 원소를 침전시키는 무회 알칼리로 사용되었습니다.
3) 전자 산업에서 특히 포지티브 레지스터 현상액, 실리콘 웨이퍼 습식 식각액 및 CMP 공정용 초청정 솔루션으로 사용됩니다.
4) 집적 회로, 액정 디스플레이, 인쇄 회로 기판, 커패시터, 센서 및 기타 여러 전자 부품 제조에 사용됩니다.
테트라메틸암모늄하이드록사이드를 어떻게 복용해야 하나요?
Contact: daisy@shxlchem.com
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리드타임
25kg 이하: 지불금 수령 후 영업일 기준 3일 이내.
>25kg: 일주일
견본
사용 가능
패키지
드럼당 200kg, 드럼당 25kg 또는 원하는 대로.
저장
용기를 단단히 밀봉하여 건조하고 서늘하며 통풍이 잘 되는 곳에 보관하십시오.식품 용기 또는 호환되지 않는 물질과 별도로 보관하십시오.